X射线双晶衍射在分布布喇格反射镜研制中的应用

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本文利用X光双晶衍射的动力学理论对垂直腔面发射激光器(VCSEL)的分布布喇格反射镜(DBR)的特性曲线进行了模拟研究,从中得到DBRAlAs/AlxGa1-xAs的厚度一分x值,应用所得到的这些数值进行光学薄膜反射谱的模拟计算,并与实验所则得的DBR反射谱进行比较,得到了证实,我们应用这套方法指导VCSEL外延生怕 生长,获得了良好的结果。
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