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期刊论文
双边驱动精密气浮工作台模型分析
双边驱动精密气浮工作台模型分析
来源 :机床与液压 | 被引量 : 0次 | 上传用户:buhao00155
【摘 要】
:
设计了一种以直线电机进行双边驱动、以单侧气浮导向的精密运动平台,并对系统进行了动力学建模和分析,得到了系统特性与几何尺寸、质心分布之间的关系,根据系统的要求,设计合适的
【作 者】
:
王春洪
张鸣
尹文生
朱煜
段广洪
程嘉
【机 构】
:
清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
:
机床与液压
【发表日期】
:
2008年9期
【关键词】
:
双边驱动
精密工作台
气浮支撑
动力学
Dual-side actuators Precision stage Air bearing Dynamics
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设计了一种以直线电机进行双边驱动、以单侧气浮导向的精密运动平台,并对系统进行了动力学建模和分析,得到了系统特性与几何尺寸、质心分布之间的关系,根据系统的要求,设计合适的几何尺寸,可以优化设计出能够更好满足要求的系统结构。
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