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概述了微机电系统的结构和特点,并介绍了MEMS传统加工工艺以及应用领域.
微机电系统的研究与应用
【摘 要】
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概述了微机电系统的结构和特点,并介绍了MEMS传统加工工艺以及应用领域.
【机 构】
：
南昌航空大学
【出 处】
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江西化工
【发表日期】
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2014年1期
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