【摘 要】
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设计光子能量范围为250～750eV，可覆盖C、N、O、F的K边界以及过渡金属直至Fe的L边.设计的空间分辨率为50～150nm，具备发展到30nm的能力.重点考虑了相干辐射的传输，分析了水平和垂直
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设计光子能量范围为250～750eV，可覆盖C、N、O、F的K边界以及过渡金属直至Fe的L边.设计的空间分辨率为50～150nm，具备发展到30nm的能力.重点考虑了相干辐射的传输，分析了水平和垂直方向的相空间匹配问题.引入冗余照明的概念，以实现波带板的空间相干照明以及降低束线对光源不稳定性及元件振动的要求.设计输出光通量可达109phs/(s*0.1%BW).谱分辨率(E/ΔE)标称值3000，并可根据不同实验调整.实验站设计样品可放在真空、氦气和大气环境中工作.
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