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期刊论文
ICP—AES测定三甲基镓中痕量杂质
ICP—AES测定三甲基镓中痕量杂质
来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zy15400444
【摘 要】
:
本文建立了用ICP-AES测定三甲基镓中杂质Ca、Mg、Co、Ba、Cd、Ni、Li、Fe、Cu、Zn、Cr、Ti、V、Mo、Mn和Si等16种元素的方法。研究了样品的处理、基体镓对杂质元素的背景干扰、谱线干扰以及谱线强度的影响。检测限均小
【作 者】
:
张波珍
王春梅
【机 构】
:
电子部第四十六研究所
【出 处】
:
光谱学与光谱分析
【发表日期】
:
1997年6期
【关键词】
:
ICP-AES
三甲基镓
砷化镓单晶薄膜
杂质
ICPAES
Trimethylgallium
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本文建立了用ICP-AES测定三甲基镓中杂质Ca、Mg、Co、Ba、Cd、Ni、Li、Fe、Cu、Zn、Cr、Ti、V、Mo、Mn和Si等16种元素的方法。研究了样品的处理、基体镓对杂质元素的背景干扰、谱线干扰以及谱线强度的影响。检测限均小于1μg/g,测定的相对标准偏差小于1%。
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