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研究了直流脉冲等离子体进行ＰＥＯＭＣＶＤ（等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积）淀积含钛多组元化合物硬质膜的新工艺。对试样进行了显微硬度、涂层厚度、表面结构及膜的元素成份分析。
脉冲辉光PEOMCVD金属表面硬涂层研究
【摘 要】
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研究了直流脉冲等离子体进行ＰＥＯＭＣＶＤ（等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积）淀积含钛多组元化合物硬质膜的新工艺。对试样进行了显微硬度、涂层厚度、表面结构及膜的元素成份分析。
【机 构】
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电子工程系
【出 处】
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中南民族学院学报：自然科学版
【发表日期】
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1996年3期
【基金项目】
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国家民委科研基金资助项目
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