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MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)传感器是在微电子技术基础上发展起来的、多学科交叉的前沿技术方向,在"中国制造2025"和"工业4.0"中发挥着关键作用。本文对MEMS传感器技术国内外发展现状与趋势进行了分析,并提出了我国进一步发展重点和对策建议。
MEMS传感器技术发展现状与趋势
【摘 要】
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MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)传感器是在微电子技术基础上发展起来的、多学科交叉的前沿技术方向,在"中国制造2025"和"工业4.0"中发挥着关键作用。本文对MEMS传感
【机 构】
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科技部高技术研究发展中心,天津理工大学,河北工业大学
【出 处】
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科技中国
【发表日期】
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2018年06期
【基金项目】
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科技创新战略研究专项项目“重点科技领域发展热点跟踪研究”(编号:ZLY2015072)研究成果之一
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