【摘 要】
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在微电子、微机械和微光学的基础上，集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术，是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微
【机 构】
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重庆大学微系统研究中心,华南理工大学机电工程系
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在微电子、微机械和微光学的基础上，集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术，是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。
On the basis of micro-electronics, micro-mechanics and micro-optics, micro-system technology integrating sensor, actuator and signal processing unit is a new trend in the development of modern technology. Micro-system technology in the micro-sensors, micro-actuators, micro-optics and special integrated micro-devices have made great progress. Microsystems are used in some industries.
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