【摘 要】
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一、引言 随着我国真空技术的不断发展,对真空设备和系统进行自动控制和保护,实现真空过程自动化已是真空技术领域急待解决的重要课题。因为,实现真空过程自动化,不仅能提高
【机 构】
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一、引言 随着我国真空技术的不断发展,对真空设备和系统进行自动控制和保护,实现真空过程自动化已是真空技术领域急待解决的重要课题。因为,实现真空过程自动化,不仅能提高劳动生产率,保证产品质量;而且能对真空设备和系统进行自动保护;并能减轻工人的劳动强度,保护操作人员的
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