碗状杜瓦瓶锗窗口镀制

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锗基片表石镀单层ZnS增透膜的增透机理已是众所周知的了,对于碗状杜瓦瓶的窗口也是一样,所不同的是由于外形特殊,给成盘镀制带来困难。(一) 为了实现光控膜厚,比较片必须是窗口膜厚增加的极好膜拟,并且在整个载盘上具有较好的均匀性,因此控制片应在平面载盘的表面中心,并随盘转动。 Germanium substrate Tablets Single layer ZnS antireflection coating mechanism is well known, the same for the bowl of Dewar bottleneck, the difference is due to the special shape, to plate into the plate to bring difficulties. (A) in order to achieve light-controlled film thickness, the comparison film must be an excellent film to increase the thickness of the window film and has good uniformity in the entire carrier, the control chip should be in the plane of the surface of the carrier plate and With the disk rotation.
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