低波数高分辨率微型光栅光谱仪的设计

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为了满足光栅型光谱仪高分辨率、小型化以及宽谱段的需求,设计了一种基于Czerny-Turner(C-T)型光路结构的拉曼光谱仪.通过Zemax光学设计软件对聚焦镜、准直镜、柱面镜、CCD的倾角和间距进行了自动优化,并设置合理操作数来消除系统的球差和彗差,利用柱面镜来消除系统像散.所设计的拉曼光谱仪波段范围在80~3200 cm?1,运用了Zemax操作数平衡光谱仪分辨率、工作波段和体积三个重要指标.设计结果表明,该仪器在785 nm波长激发下,全波段光谱分辨率优于3 cm?1,光学结构体积为70 mm×80 mm×25 mm.
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硅片键合套刻偏差是影响三维垂向互连封装工艺的重要指标之一.利用红外光可以高效穿透硅基半导体材料的特性,设计了测量键合套刻偏差的红外检测系统.通过测试光源和相机得到的噪声大小和分布作为仿真误差来源;通过MATLAB对不同尺寸、不同类型的套刻标记成像仿真,得到的测量重复性随采样点增多而减小,并在150个采样点时套刻测量重复性趋于稳定的规律;通过仿真检测系统不同数值孔径和套刻标记线宽,得到了测量重复性随对比度增加而减小的特征.根据仿真结果设计了红外检测系统和套刻标记,测试结果接近仿真数据,得到了10 nm以下的