硅谐振梁力传感器

来源 :国外计量 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lanbing510
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
1.前言文献中经常介绍谐振梁力传感器的原理。例如振弦式传感器,双端音叉石英谐振器。这类发展中的传感器使用了硅机械材料和作为激励与检测的 ZnO 压电薄膜材料。该传感器的工作原理与报告过的谐振薄膜压力传感器相同。 1. Preface The literature often introduces the principle of resonant beam force sensors. Such as vibrating wire sensors, double-ended tuning fork quartz resonators. Such developing sensors use silicon mechanical materials as well as ZnO piezoelectric film materials for excitation and detection. The sensor works in the same way as the reported resonant membrane pressure sensor.
其他文献
对糖尿病人来说,经常吃一些降血糖的食物,可以缓解病情,既经济实惠,又安全有效。 南瓜——它是一种低糖、低热量的食品,又含有大量果胶,果胶在肠道内吸收后可形成胶状物质,
本文提出了基于ParaWareMOLAP系统的智能化数据分析方法--PSC方法,该方法基于五数概括理论,把涉及到用户感兴趣的维的cuboid的粒度细化到具体维层,利用在cube中存储的有关数据
目的探讨氩氦刀治疗晚期非小细胞肺癌合并呼吸衰竭的原因及预防措施。方法在CT引导下局麻行冷冻治疗,术中、术后监测心率、呼吸、血压、指脉氧、血气分析等变化,术后绝对卧床
本文在已有的索引选择研究的基础上,通过对工作负载的深入研究,提出了结合代价模型和规则系统的索引选择框架,并采用静态索引选择和动态索引选择两种方法,有效地提高了索引选
以某市政污水处理厂深度改造为例(原为一级A,现为准四类水),选用“超细格栅+二次提升泵+反硝化滤池+接触消毒”工艺,并加大重点工段药剂投加量,进行为期1个月的中试实验,验证
本文对焦磷酸盐镀铜液中正磷酸盐含量,对锡磷青铜配套镀银脆铜、起泡故障的影响进行了研究。文章针对"镀液成分、工艺参数、正磷酸盐含量、镀液杂质以及基本材料、配套镀层"下
会议
本文提出了基于单位空间上的查询频率和效益的物化视图的动态选择方案,其基本思想是由系统跟踪查询的分布情况,依据物化视图单位空间上的查询频率和效益动态地调整物化视图集
本文选择铜的六种金属络合剂作为研究对象,它们是乙二胺,柠檬酸钠,HEDP(羟基乙叉二膦酸),葡萄酸钠,乙二胺四乙酸二钠(EDTA),四羟丙基乙二胺(THPE).介绍了络合剂浓度,溶液的PH
会议
20世纪后期,抗生素的发现和应用控制了大多数由细菌引起的感染,明显降低了与感染相关的死亡率.但细菌耐药性的出现和传播使得某些抗生素逐渐失去其抗菌活性.抗生素耐药性的全球化,耐药菌株的传播,要求我们必须进行全球范围的细菌耐药性监测和研究工作[1-3]。
在电镀过程中,镀层金属离子浓度的大小,是直接影响电镀参数的一个重要因素。它影响的参数有电流密度、均镀能力、深镀能力以及槽电压和电流效率等。本文对镀层金属盐进行了研究