β-Ga_(2)O_(3)叠层紫外透明导电薄膜的光学设计

来源 :内蒙古大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：teddy18chen

【摘要】

：

采用时域有限差分法计算β-Ga2O3/金属/β-Ga2O3叠层紫外透明导电薄膜的光学透过率,研究Ga2O3厚度、插入层材料及厚度对叠层透明导电薄膜透过率的影响。数值计算结果表明,插

【作者】

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王磊杜经纬胡明丹张海朱俊

【机构】

：

内蒙古大学物理科学与技术学院,内蒙古工业大学理学院

【出处】

：

内蒙古大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2021年3期

【关键词】

：

Ga2O3 透明导电膜时域有限差分法光学设计

【基金项目】

：

国家自然科学基金(11864029),内蒙古自然科学基金(2020MS01014,2020MS06007)。

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采用时域有限差分法计算β-Ga₂O₃/金属/β-Ga₂O₃叠层紫外透明导电薄膜的光学透过率,研究Ga₂O₃厚度、插入层材料及厚度对叠层透明导电薄膜透过率的影响。数值计算结果表明,插入铂或石墨烯纳米层可提高叠层薄膜在紫外波段的透过率,而插入Ag纳米层,叠层薄膜在紫外波段的透过率较之Ga₂O₃单层薄膜略有下降。增加插入层厚度将进一步降低

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