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1测量原理相移干涉显微镜是干涉术与显微术结合的产物，由双光束干涉理论可知，干涉场光强分布用下式表示I（x，y，t）=I1＋I2＋2I1I2cos[φ（x，y）＋δ（t）]（1）式中，I1，I2为两干涉光强；φ（x，y）为原始相位分布；δ（t）为通过移动光学元件产生的相位移动量，
基于相移干涉的显微镜薄膜厚度测量
【摘 要】
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1测量原理相移干涉显微镜是干涉术与显微术结合的产物，由双光束干涉理论可知，干涉场光强分布用下式表示I（x，y，t）=I1＋I2＋2I1I2cos[φ（x，y）＋δ（t）]（1）式中，I1，I2为两干涉光强；φ（x，y）为原始相位分布；δ
【机 构】
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成都电子机械高等专科学校
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2009年10期
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