TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响

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通过对TFT-LCD行业用显影液浓度(质量分数)C1和其中酸根离子浓度(质量分数)C2与半色调光刻胶膜厚(Half Tone Thickness,THK)的影响研究,提出了改善THK波动的方法。首先,固定光刻工艺生产条件,采用单因素实验法分别对C1和C2对THK的影响进行试验,研究表明,C1、C2的变化都会影响显影液的显影能力,导致THK的变化,且都呈线性负相关。其次,根据C1和C2变化对THK的影响程度,将二者之间建立公式对应关系,通过系统对C1进行调整,改善C2波动的影响。最终将关系公式导入系统,稳定
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