天津大学机械学院在承担国家自然科学基金多个项目中，涉及纳米加工技术，为此研制了多种用于纳米加工技术的产品，下面介绍其开发研制的已能用于实验和生产的2种产品。rn　　1. 高刚度微位移工作台rn　　主要技术参数：rn　　最大载荷——20kg；rn　　最大行程——16μm；rn　　位移分辨率——0.05μm；rn　　重复定位精度——0.1μm。rn　　2. 高分辨率微进给驱动电源rn　　主要技术参数：rn　　输入电压——0～5 V；rn　　输出电压——0～300 V；rn　　输出电流——200 mA；rn　　电压调整率——＜0.005%；rn　　输出时漂——30 mV/h；rn　　输出电压分辨率——20 mV。rn　　3. 超声波磨削复合加工机rn　　超声波磨削复合加工机的加工原理是由压电陶瓷换能器发出20kHz的超声频率的振动信号，作用于高速磨削主轴金刚石磨头的端部，使金刚石磨头在高速旋转的同时具有高频振动，即磨头在切削(磨削)区还能产生高频振动冲击和超声空化作用，对被加工的硬脆材料进行破碎、挤压、变形和修整，完成小孔、复杂形状型腔和型孔的加工。