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结构层淀积是MEMS加工过程中的重要工艺步骤，淀积薄膜的应力梯度是影响MEMS器件性能的一个重要的力学参数．文中介绍了几种常见的平均应力梯度在线测量方法，阐明了其测试结构及测量原理，并对这些测量方法进行了比较．
MEMS薄膜平均应力梯度在线测量方法
【摘 要】
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结构层淀积是MEMS加工过程中的重要工艺步骤，淀积薄膜的应力梯度是影响MEMS器件性能的一个重要的力学参数．文中介绍了几种常见的平均应力梯度在线测量方法，阐明了其测试结构及测
【机 构】
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南京师范大学物理科学与技术学院
【出 处】
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西安文理学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年3期
【基金项目】
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江苏省自然科学基金(BK2006223);东南大学MEMS教育部重点实验室开放研究基金资助项目
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