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光热偏转成像实验
光热偏转成像实验
来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaogui999
【摘 要】
:
概述了光热偏转成像原理,搭建了热波成像光热偏转自动化检测系统,并实现了数据采集和数据处理的自动化.利用该实验系统绘制了直线划痕SrBT样品和三角划痕硅片样品的表面光热偏转图,成像结果清晰直观.
【作 者】
:
侯庆军
娄本浊
李荣
何军锋
孙庆龙
【机 构】
:
滨州学院物理系,陕西理工学院物理系
【出 处】
:
物理实验
【发表日期】
:
2010年03期
【关键词】
:
光热偏转技术
热波成像
自动测量
photo-thermal deflection thermal wave imaging automatic measure
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概述了光热偏转成像原理,搭建了热波成像光热偏转自动化检测系统,并实现了数据采集和数据处理的自动化.利用该实验系统绘制了直线划痕SrBT样品和三角划痕硅片样品的表面光热偏转图,成像结果清晰直观.
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