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在测量数据处理中,如何确定误差分布是一个关键的问题。现有的理论是基于正态分布的,但很多实际情况下是非正态分布的。而beta分布通过调整参数后可以逼近多种分布,省却了判断分布形式的困难。通过提出一种计算方法,利用beta分布拟合参数,并计算数据处理结果。通过激光数字干涉仪测平晶面形峰谷值的实例证明,该方法是切实有效的。