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AlGaN/GaN HEMT器件制造主要分为AlGaN/GaN异质结材料的生长和HEMT器件制备两个主要部分,材料生长的好坏和器件制作工艺都将对器件的性能产生深远影响,本文主要对AlGaN/GaN材料的生长和HEMT器件制备的工艺流程进行介绍。
AlGaN/GaN HEMT器件制备工艺流程介绍
【摘 要】
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AlGaN/GaN HEMT器件制造主要分为AlGaN/GaN异质结材料的生长和HEMT器件制备两个主要部分,材料生长的好坏和器件制作工艺都将对器件的性能产生深远影响,本文主要对AlGaN/GaN材
【机 构】
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吉林建筑大学
【出 处】
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经济技术协作信息
【发表日期】
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2020年10期
【基金项目】
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吉林建筑大学大学生创新创业项目《不同剂量氟处理对GaN基器件横向电场分布影响研究》资助
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