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气相质子交换法
气相质子交换法
来源 :光电子技术与信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:impeipeiyang
【摘 要】
:
质子交换法是制作铌酸锂光波导的常用方法,介绍了液相和气相质子交换法制作光波导的原理及工艺,对气相法形成波导的损耗比较低的机理进行了探讨,并且提出了提高质子交换速度
【作 者】
:
易鹏
戴基智
李长红
【机 构】
:
电子科技大学光电信息学院
【出 处】
:
光电子技术与信息
【发表日期】
:
2005年6期
【关键词】
:
集成光学
光波导
质子交换
气相质子交换法
integrated-optics
waveguide
proton exchange(PE)
vapour
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质子交换法是制作铌酸锂光波导的常用方法,介绍了液相和气相质子交换法制作光波导的原理及工艺,对气相法形成波导的损耗比较低的机理进行了探讨,并且提出了提高质子交换速度的方法.
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