【摘 要】
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设计了一个基于低温共烧陶瓷（LTCC）技术的无线无源双参数传感器,传感器基于LC（inductor-Capacitor）谐振原理,询问天线通过无线遥测的方式获取传感器的压力和温度信号。在传感器基
【机 构】
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电子测试技术国防科技重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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设计了一个基于低温共烧陶瓷（LTCC）技术的无线无源双参数传感器,传感器基于LC（inductor-Capacitor）谐振原理,询问天线通过无线遥测的方式获取传感器的压力和温度信号。在传感器基板上集成了两个LC谐振回路,谐振回路中两个电容分别对压力和温度参数敏感,同时两电感采用特殊结构来减少双参数在测试时的互感串扰。搭建了温度-压力复合测试平台,对传感器进行了相关测试。传感器最高测试温度为300℃,温度灵敏度为-14.27 k Hz/℃,压力灵敏-13.75 k Hz/k Pa,实验结果表明,这种设计能
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