灰色理论的位移传感器标定不确定度评定

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 18次 | 上传用户：www_acafa_com

【摘要】

：

硅晶元等高精度平面度测量时,为提高测量可信性,对所用位移传感器标定已成为业界常规。本研究针对用于基于逐次两点法(STPM)测量硅平面的两电容式位移传感器2804/3890 J设计了一种压电陶瓷标定系统,实现其标定间隔达到8nm/1 mV,提高了标定的精确度。建立基于灰色理论的GM(0,2)系统数学模型,确立待标定传感器测量结果的回归模型,以得到传感器特性的最佳估计,并确定其联合不确定度,得到被标传

【作者】

：

宋小奇何伟铭

【机构】

：

上海理工大学机械工程学院

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2012年11期

【关键词】

：

标定高精度灰色系统理论测量不确定度逐次两点法 calibration high accuracy gray theory uncertain

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