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用电容测量技术和电化学阻抗技术研究了高纯钽丝在稀磷酸(质量分数为0.01%,0.10%和1.00%)、氨水(pH=11)和饱和CO2水溶液(pH=4)中阳极氧化形成的氧化钽膜在酸性缓冲液(pH=2)中的半导体性和阻抗特性。实验结果表明,来自非磷酸系的阳极氧化钽膜呈现出双极性(p-n)半导体结构特征,而来自磷酸系的则表现为三极性(n-p-n);且非磷酸系阳极氧化钽膜的施主浓度(0.6×1019cm–3)明显低于磷酸系的(0.7×1019~2.2×1019cm–3)。但磷酸系阳极氧化钽膜的耐酸腐蚀性弱于非磷酸系的。这些可能是磷酸根离子嵌入氧化钽膜外层的结果。