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介绍了一种基于二维位置敏感探测器PSD的激光光斑位置测量系统。与传统的方法相比，该系统改进了硬件和软件设计方法来实现PSD外围信号处理，它可以测量微米级位置的移动，实验结果表明系统测量精度在5μ之内。
基于PSD的激光微位移测量系统
【摘 要】
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介绍了一种基于二维位置敏感探测器PSD的激光光斑位置测量系统。与传统的方法相比，该系统改进了硬件和软件设计方法来实现PSD外围信号处理，它可以测量微米级位置的移动，实验结果
【机 构】
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成都工具研究所有限公司
【出 处】
：
工具技术
【发表日期】
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2013年4期
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