采用电流镜积分读出电路的X射线图像传感器

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研制采用电流镜积分高性能读出电路的X射线图像传感器(CMI-X-IS),传感器像元由采用CMOS工艺的光电二极管实现,利用电流镜将产生的光电流变成镜像并放大到积分电容中,经相关双采样电路抑制噪声后,由CMOS移位寄存器和多路开关电路输出视频信号.对CMI-X-IS要求的时序关系进行了分析.设计了CMI-X-IS的应用电路,并将其应用于一个实验系统中,得到了不同密度、不同尺寸材料的视频信号波形和清晰的目标物X射线图像.实验表明,CMI-X-IS具有较小的非均匀性(NU≤3.532%)、较低的暗噪声(Vn≤0.45mV)、较大的单位面积响应度(Ro=57.87×105V/Lx.S.cm2)、较高的输出电压(可达5V)和较宽的动态范围(Dr ≥77dB),可以应用到X射线实时成像检测领域.
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