【摘 要】
：
<正>薄膜沉积工艺是半导体制造、MEMS、表面工程等领域的基础工艺。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是重要的薄膜沉积工艺方法之一,其工艺系统涉及复杂多场耦合及化学反应过
论文部分内容阅读
<正>薄膜沉积工艺是半导体制造、MEMS、表面工程等领域的基础工艺。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是重要的薄膜沉积工艺方法之一,其工艺系统涉及复杂多场耦合及化学反应过程。目前PECVD反应腔室设计与工艺调控的研究普遍依赖经验试错与大量的工艺参数试验,不仅需要大量的时间与物力成本,且复杂的工艺过程没有得到揭示。实质上,设备的工艺参数是影响薄膜沉积工艺性能的表象因素,其深层次的因素是物质、能量的空间分布(称之为工艺因素轮廓)。本文着眼于反
其他文献
<正> 物业管理作为一种全新的业态形式,它给人们所提供的服务已经得到了全社会的认可。伴随着我国房地产业发展的大好形势,人们已经开始十分注重提高生活、特别是自身居住环
本文关注"视点"一词的模糊性,并着手梳理这一概念在何种对立面中能够得以把握。在此基础之上,提出如下观点:"视点"名下所探讨的各种问题,均应作为认知语言学中称为"识解"(con
任何事物的形成和发展都不可能离开一定的背景,绘画艺术也同样如此。本文从文化背景上阐述了东西方文化形态差异导致各自绘画艺术形成发展所展现出的明显差异。根其“种”的
随着美丽乡村建设项目在全国范围内的大规模推进,乡村绿地的功能特性逐渐引起人们的重视,乡村绿地规划对构建社会主义农村新风貌,推进社会主义新农村建设具有重要的意义。文
植物园在植物科学研究、生物多样性保护和植物资源可持续利用中具有重要作用,也是公众教育和知识传播的重要平台,具有文化传承和历史延续性的功能。以中国科学院华南植物园、
通过工程施工实例,介绍了高压低密度聚乙烯(LDPE)装置超高压系统基础及防爆墙施工技术难点的创新方案,提出了超高压系统单设测量控制网,密集重型管墩联浇底板、后浇墩柱,压缩
考察了一种壳聚糖季铵盐衍生物(ch itosan-g-DMAE-BC)的合成以及其抗菌性能,采用震荡法,进行了悬菌定量杀菌实验(suspension quantitative test).结果表明:ch itosan-g-DMAE-
<正>全面预算管理就是企业按照预算来管理近期内的各项生产经营活动的各个方面,它是通过预算对企业的各项经济活动进行有组织的领导、监督、控制的一种管理制度和办法。通常
<正>急性播散性脑脊髓炎(acute disseminated encephalomuelitis,ADEM)是中枢神经系统脱髓鞘疾病及危重症之一,常引起严重的神经功能障碍,具有较高的致残率和死亡率。由于目
本文从研究队伍的建设、研究方法的更新、研究领域的拓展、研究著作的评价以及目前存在的问题等方面 ,对新时期中国古典文学研究的历史及现状 ,作了比较清晰的论述。值此新旧