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激光莫尔传感器在精密定位中的应用
激光莫尔传感器在精密定位中的应用
来源 :南京师范大学学报(工程技术版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:gfjgds
【摘 要】
:
应用激光莫尔信号传感器设计了一套精密定位装置,可实现高精度位置检测及精密自动定位;系统采用的激光补偿技术及差动光栅技术,极大地提高了位置检测信号的灵敏度与定位精度.
【作 者】
:
张金龙
【机 构】
:
南京师范大学电气与电子工程学院
【出 处】
:
南京师范大学学报(工程技术版)
【发表日期】
:
2004年1期
【关键词】
:
激光莫尔传感器
精密定位
差动技术
工业控制计算机
激光补偿技术
差动光栅技术
Moire sensor
differential technique
pr
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应用激光莫尔信号传感器设计了一套精密定位装置,可实现高精度位置检测及精密自动定位;系统采用的激光补偿技术及差动光栅技术,极大地提高了位置检测信号的灵敏度与定位精度.实验结果表明,精密定位装置可获得±0.1μm的定位精度,对集成电路制造技术等精密加工工程领域具有重要的实用价值.
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