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本文描述了一种用于聚焦离子束系统的图形发生器和自动套准系统的研究和实现，并探讨了发展和改进的方向。该系统采用硬件实现扫描控制和坐标变换。在我们的实验条件下，实现了单场扫描２秒钟，套准计算４秒钟，该系统同样也适用于电子束曝光机系统 。
聚焦离子束系统中图形发生及自动套准系统的研究
【摘 要】
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本文描述了一种用于聚焦离子束系统的图形发生器和自动套准系统的研究和实现，并探讨了发展和改进的方向。该系统采用硬件实现扫描控制和坐标变换。在我们的实验条件下，实现了单
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1998年5期
【基金项目】
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国家863高科技资助
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