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描述了近十年来用作NO2气体传感器的酞菁类和氧化物 半导体敏感材料。总结了这两类材料的成膜条件、薄膜表面形态和结构以及它们的敏感特 性。为优化薄膜的气敏特性提供了参考。
NO2气体传感器敏感材料
【摘 要】
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描述了近十年来用作NO2气体传感器的酞菁类和氧化物 半导体敏感材料。总结了这两类材料的成膜条件、薄膜表面形态和结构以及它们的敏感特 性。为优化薄膜的气敏特性提供了参
【机 构】
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南京理工大学化工学院应用化学系,南京理工大学化工学院应用化学系
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2001年4期
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