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用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统
【机 构】
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北京大学无线电电子学系和中科院北京真空物理实验室,中国科学院科学仪器厂
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1993年3期
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