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采用射频磁控溅射法,室温下在玻璃衬底上制备出了具有良好附着性、低电阻率和高透过率的新型透明导电薄膜YZO（ZnO掺杂Y2O3简称YZO）。在薄膜厚度为600nm的情况下,研究了薄膜电学特性随溅射功率和溅射气压的变化情况。X射线衍射谱表明YZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为（002）方向。最佳溅射条件下制备的薄膜电阻率为8.71×10^-4Ω·cm,在可见光范围内平均透过率达到92.3%,禁带宽度为3.57eV。