【摘 要】
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利用质谱研究了不同工艺参数下C4H8/H2等离子体的离子组分和能量的径向分布规律,并分析了CH片段的裂解与聚合过程。结果表明,当工作压强较低时（≤7Pa）,小分子CH片段的相对密度
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金（11504350）
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利用质谱研究了不同工艺参数下C4H8/H2等离子体的离子组分和能量的径向分布规律,并分析了CH片段的裂解与聚合过程。结果表明,当工作压强较低时（≤7Pa）,小分子CH片段的相对密度随径向距离的增大而逐渐减小,大分子CH片段则逐渐增多;随着工作压强的增大,CH片段的相对密度达到极值所对应的径向距离逐渐增大。当射频功率一定时,小分子CH片段的相对密度随径向距离增大而减小,大分子CH片段则逐渐增多。此外,离子能量随径向距离的增大均呈现出逐渐减小的趋势。当工作压强为3Pa、射频功率为20 W时,C4H8/H2等离
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