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对熔丝结构和反熔丝结构的优缺点进行了对比，重点介绍了ONO（氧化物-氮化物-氧化物）结构反熔丝的结构和工作原理，对关键的技术参数之间的关系进行了论述，并通过其工艺中的技术难点进行了分析和研究。给出了实际应用的版图，并对流片得出的数据进行了总结分析，从数据上得出了各种结构的优缺点。同时对反熔丝结构的下一步发展做出了预测。