【摘 要】
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GaN基功率电子器件已经被应用在电子产品、电气设备和充电器等领域。如何进一步提高现有GaN基功率器件性能是接下来研究的重点。其中，金属/GaN界面上较大的欧姆接触电阻一直是影响器件性能及可靠性的一个问题。该文综述总结近年来在GaN基功率器件结构中的欧姆接触电极及不同类型欧姆接触方案的研究成果。在简要介绍几种典型的功率电子器件结构中的欧姆接触之后，将分别讨论n型GaN、p型GaN、Al GaN/Ga
【基金项目】
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国家重点研发计划资助项目（2017YFB0404201）； 国家自然科学基金资助项目（61774147）；
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GaN基功率电子器件已经被应用在电子产品、电气设备和充电器等领域。如何进一步提高现有GaN基功率器件性能是接下来研究的重点。其中，金属/GaN界面上较大的欧姆接触电阻一直是影响器件性能及可靠性的一个问题。该文综述总结近年来在GaN基功率器件结构中的欧姆接触电极及不同类型欧姆接触方案的研究成果。在简要介绍几种典型的功率电子器件结构中的欧姆接触之后，将分别讨论n型GaN、p型GaN、Al GaN/GaN异质结上的欧姆接触，以及对于无金欧姆接触技术的各种尝试和成果。最后，对未来的发展趋势作出展望。
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