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制作了基于InP基量子级联激光器的一维光子晶体.采用普通光学曝光的方法代替电子束曝光,结合反应耦合等离子刻蚀,在激光器的一侧腔面制作出4个周期的空气/半导体对作为Bragg反射器.对于一个22μm宽,2mm长的正焊器件,80K下的光谱测试证实了其准连续激射,激射波长为5.36μm.
5.36μm InP基一维光子晶体量子级联激光器
【摘 要】
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制作了基于InP基量子级联激光器的一维光子晶体.采用普通光学曝光的方法代替电子束曝光,结合反应耦合等离子刻蚀,在激光器的一侧腔面制作出4个周期的空气/半导体对作为Bragg
【机 构】
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2008年7期
【基金项目】
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国家杰出青年科学基金（批准号：60525406）和国家重点基础研究发展计划（批准号：2006CB604903）资助项目 Acknowledgements The authors contributed equally to this work and they would like to acknowledge Liang Ping,Hu Ying,and Sun Hong for their h
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