【摘 要】
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由于热丝法气相沉积金刚石薄膜成膜质量好、设备简单、成本低而得到广泛应用.本文探求了工具上应用最广泛的硬质合金上利用热丝法沉积金刚石薄膜的原理,并着重讨论了在该系统
【机 构】
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中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国工程物理研究院
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由于热丝法气相沉积金刚石薄膜成膜质量好、设备简单、成本低而得到广泛应用.本文探求了工具上应用最广泛的硬质合金上利用热丝法沉积金刚石薄膜的原理,并着重讨论了在该系统中影响金刚石薄膜质量的几个因素:预处理技术、碳源浓度、温度和气压,在金刚石的形核时期和生长时期这些因素的作用是不同的,同时这些因素又相互影响.根据影响因素制定出了最优的工艺参数,最后在硬质合金上得到了均匀而致密的金刚石薄膜,经XRD分析,由(111)和(220)晶面组成,主要是(111)面,晶粒尺寸平均为113.5nm,这些探索为金刚石沉积技术在
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