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讨论了深紫外曝光系统中椭球反射镜镀制装置在薄膜沉积中的镀制条件对膜厚和膜厚均匀性的影响，计算了椭球镜的膜厚均匀性并对如何改善椭球镜膜厚分布作了介绍，实验得到均匀性符合要求的反射镜。
椭球反射镜膜厚均匀性与工艺技术的探讨
【摘 要】
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讨论了深紫外曝光系统中椭球反射镜镀制装置在薄膜沉积中的镀制条件对膜厚和膜厚均匀性的影响，计算了椭球镜的膜厚均匀性并对如何改善椭球镜膜厚分布作了介绍，实验得到均匀性符
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2000年5期
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