【摘 要】
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以SnCl 4·5H 2O和SbCl 3为原料,无水乙醇作溶剂,溶胶-凝胶法制备SnO 2∶Sb(ATO)薄膜的前驱体溶液,再用超声喷雾热解法制得薄膜,并用包括四探针测试仪及热功率测试设备等
【机 构】
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江苏大学材料科学与工程学院,盐城工学院材料工程学院,安徽理工大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金面上资助项目(51572234),江苏省生态建材与环保装备协同创新中心资助项目(CP201506),江苏省普通高校专业学位研究生创新计划资助项目(SJLX16_0677)
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以SnCl 4·5H 2O和SbCl 3为原料,无水乙醇作溶剂,溶胶-凝胶法制备SnO 2∶Sb(ATO)薄膜的前驱体溶液,再用超声喷雾热解法制得薄膜,并用包括四探针测试仪及热功率测试设备等在内的方法对样品进行表征。结果表明:超声喷雾热解法可制备表面平整的ATO薄膜;Sb元素的掺杂并未改变SnO 2的晶体结构,且随着沉积温度的增加,薄膜的结晶度提高;当沉积温度为500℃,Sb掺量为1.5at.%,c(Sn)=0.8mol/L时方块电阻最小,为105Ω/□,施加220V电压最高加热温度达到213℃
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