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<正> 窄长精密研磨表面的直线度误差,可采用平晶以光波干涉法测量。但当缺少长平晶或大平晶时,通常以小平晶分段连续测量。这种测量方法是根据平晶的半径将被测表面等分成若干段,每次以平晶两端点为零,测出此范围内干涉带弯曲量,计算其该位置的局部直线度值作为中间一点的测得值,然后移动平晶半
平晶分段法求直线度误差的计算
【摘 要】
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<正> 窄长精密研磨表面的直线度误差,可采用平晶以光波干涉法测量。但当缺少长平晶或大平晶时,通常以小平晶分段连续测量。这种测量方法是根据平晶的半径将被测表面等分成若
【机 构】
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北京市计量科学研究所
【出 处】
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机械工艺师
【发表日期】
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1990年5期
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