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当MEMS谐振梁的尺寸进一步缩小到nm量级时，实验表明在外部激励的作用下，器件运动状态更容易从线性区进入到非线性区。考虑纳米梁的轴向非线性伸长因素，利用连续体弹性理论建立了物理模型，并利用该模型分析了纳米梁的幅频特性和纳米梁非线性产生的物理机制。分析结果与已有的实验报道结果相符。
纳米梁非线性振动的动力学分析
【摘 要】
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当MEMS谐振梁的尺寸进一步缩小到nm量级时，实验表明在外部激励的作用下，器件运动状态更容易从线性区进入到非线性区。考虑纳米梁的轴向非线性伸长因素，利用连续体弹性理论建立了
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年3期
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