【摘 要】
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作为相干衍射成像技术的一种,相干调制成像(coherent modulation imaging,CMI)是一种无透镜相位成像技术,不同于多光斑相位恢复技术,通过引入已知的强波前调制,CMI可以实现单
【机 构】
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中国科学院高功率激光物理重点实验室,中国科学院中国工程物理研究院高功率激光物理联合实验室,上海科技大学物质科学与技术学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:61827816,11875308,61675215),中国科学院科研仪器设备研制项目(批准号:YJKYYQ20180024),上海市“科技创新行动计划”(批准号:19142202600)资助的课题.
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作为相干衍射成像技术的一种,相干调制成像(coherent modulation imaging,CMI)是一种无透镜相位成像技术,不同于多光斑相位恢复技术,通过引入已知的强波前调制,CMI可以实现单次曝光下对入射波前的快速重建,同时结构简单不需要参考光.除了能够用于相位成像、解决脉冲光束的在线测量问题外,本文将其用于精密光学元件(峰谷值(peak value,PV)≤0.5l,l=632.8 nm)的面型检测.为验证其测量能力,对10片口径80 mm、PV值介于0.1l和0.5l之间的石英窗口进行了重复
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