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石英音叉具有谐振频率稳定、品质因素高等优点,适合用于制作原子力显微镜探针。通过对原子力显微镜中使用的石英音叉探针驱动电路及对影响电路系统性能的器件参数进行分析,实现对石英音叉共振频率的检测及自动补偿调整,并对锁相环电路进行仿真及试验验证,试验结果表明电路系统满足原子力显微镜工作需求。
基于锁相环的音叉式原子力显微镜测头电路系统研究
【摘 要】
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石英音叉具有谐振频率稳定、品质因素高等优点,适合用于制作原子力显微镜探针。通过对原子力显微镜中使用的石英音叉探针驱动电路及对影响电路系统性能的器件参数进行分析,实
【机 构】
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北京信息科技大学理学院,中国科学院大学,中国科学院微电子研究所
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2021年1期
【基金项目】
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国家重点研发计划(2018 YFB2003400),北京信息科技大学高水平人才交叉培养2019年实培项目
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