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设计了消色差的折/衍混合微光学元件的灰阶掩模,该掩模对光刻过程中的畸变进行了预校正,并给出了模拟计算的的结果.
用灰阶编码掩模制作折／衍混合微光学元件
【摘 要】
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设计了消色差的折/衍混合微光学元件的灰阶掩模,该掩模对光刻过程中的畸变进行了预校正,并给出了模拟计算的的结果.
【机 构】
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乐山师范学院物理与电子信息科学系
【出 处】
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光学与光电技术
【发表日期】
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2005年2期
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