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中科院理化技术研究昕段宜明团队、日本理化学研究所河田聪团队通过合作，近日在利用飞秒激光多光子纳米加工技术进行三维微纳结构制备的研究中获得重要进展，成功突破了光学衍射极限，实现了纳米尺度的三维金属纳米结构加工。
理化所三维金属纳米结构飞秒激光加工获重要进展
【摘 要】
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中科院理化技术研究昕段宜明团队、日本理化学研究所河田聪团队通过合作，近日在利用飞秒激光多光子纳米加工技术进行三维微纳结构制备的研究中获得重要进展，成功突破了光学衍射
【机 构】
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中科院理化技术研究所
【出 处】
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中国材料进展
【发表日期】
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2009年4期
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