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一种基于惯性动量作用的微压电泵
一种基于惯性动量作用的微压电泵
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zn
【摘 要】
:
提出一种新的微压电泵工作机理,采用环形流道式泵腔与两个无运动件阀,形成双级惯性动量作用机制。通过减小腔内回流比例、增大正反方向流阻差,提高泵液效率与输出泵压、减小输出
【作 者】
:
王皓
姚汉民
杜春雷
【机 构】
:
电子科技大学机电工程学院,中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2006年1期
【关键词】
:
微压电泵
压电陶瓷
微机电系统
micro piezoelectric pump
piezoelectric ceramic
micro electro m
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提出一种新的微压电泵工作机理,采用环形流道式泵腔与两个无运动件阀,形成双级惯性动量作用机制。通过减小腔内回流比例、增大正反方向流阻差,提高泵液效率与输出泵压、减小输出脉动。仿真结果表明该工作机理是可行的。
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