脉冲多弧离子镀制备类金刚石薄膜的力学特性

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利用脉冲多弧离子镀技术在硅基底上沉积类金刚石薄膜。分析了类金刚石薄膜的硬度和工艺参数的关系,讨论了薄膜的耐磨性和化学稳定性。
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