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目前晶体生长装置通常采用PLC进行控制,但常规PLC的温度测量精度达不到要求的控制精度。采用PLC和高精度智能温度控制表结合,使生长槽温度精度达到±0.01℃。同时设计顺序降温控制,在规定的时间内,可进行阶段性的降温达到设定的温度。该系统已在实际生产中使用,满足了高品质晶体生长的要求。
晶体生长过程高精度温度控制系统设计
【摘 要】
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目前晶体生长装置通常采用PLC进行控制,但常规PLC的温度测量精度达不到要求的控制精度。采用PLC和高精度智能温度控制表结合,使生长槽温度精度达到±0.01℃。同时设计顺
【机 构】
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江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室
【出 处】
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机械制造与自动化
【发表日期】
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2019年3期
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