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对于碳化硅单晶炉而言,是否处于真空状态至关重要,否则碳化硅单晶炉的整体性能就会大幅下降,因此,如今在应用碳化硅单晶炉时,相关人员需要将真空检测作为重点,以免碳化硅单晶炉出现真空泄漏状况.基于此,本文以碳化硅单晶炉为基础,着重探索精准确定真空泄漏的几种检测方法,以期为相关人员予以参考,并以此为碳化硅单晶炉性能予以相应保障.