【摘 要】
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采用化学溶液沉积法,在Si(100)衬底上制备了(Bi0.925La0.075)2Ti2O7薄膜.通过对其X射线衍射图谱分析表明:用一定量的La3+来代替部分Bi3+,提高了Bi2Ti2O7相薄膜的稳定性.研究
【机 构】
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山东大学,山东大学环境工程与科学学院
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采用化学溶液沉积法,在Si(100)衬底上制备了(Bi0.925La0.075)2Ti2O7薄膜.通过对其X射线衍射图谱分析表明:用一定量的La3+来代替部分Bi3+,提高了Bi2Ti2O7相薄膜的稳定性.研究发现:经过高温(850 ℃)退火处理后,该薄膜的结晶性和取向性都很好,[111]方向取向率为90%.根据XRD谱图中的 (444)衍射峰,计算出晶格常数a≈20.66(A).薄膜的电流-电压和电容-电压特性的测量结果表明,该薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数.
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